Stanford Research Systems PPR Система мониторинга процессов в вакууме
- Описание
-
Описание
Система PPR создана для встроенного мониторинга и диагностики процессов в вакууме. К анализатору остаточных газов (RGA) ведут 2 канала: один канал высокой проводимости предназначен для базового мониторинга параметров вакуума, а второй канал (канал понижающий давление) для мониторинга процессов при рабочем (текущем) давлении. Канал понижающий давление содержит микроотверстие, предназначенное для работы при одном из следующих давлений: 0,01 ; 0,1; 1 или 10 торр. С его помощью текущее давление понижается до рабочего для RGA (около 10-6торр). Этот перепад давления поддерживается системой откачки, которая состоит из гибридного турбомолекулярного и диафрагменного насосов. Оба насоса безмасляные и не вносят загрязнений в рабочие процессы.
- Входное давление 0,01; 0,1; 1 и 10 торр
- Расход газа 3х10-5 торр л/с
- Доступны системы 100, 200 и 300 а.е.м.
- Легко заменяемый электронный умножитель и катоды
- Динамический диапазон системы 106
- ПО RGA для Windows
Входная группа, подсоединяемая к вакуумной камере, может иметь несколько видов (см. рисунки).
Система включает RGA, байпасный клапан, Т-образное разветвление, контроллер, турбонасос, диафрагменный насос и ПО для управления и сбора данных в среде Windows.
ПО используется для управления работой прибора в различных режимах, включая аналоговое сканирование, режим гистограмм, а также режим зависимости давления от времени. Оба типа детекторов - цилиндр Фарадея и электронный умножитель являются стандартными для системы PPR. Электронный умножитель обеспечивает дополнительную чувствительность при более высоких скоростях сканирования. Система PPR поставляется в полностью собранном виде и откалиброванная и, таким образом, готова к подключению к вакуумной камере.
Купить Stanford Research Systems PPR Система мониторинга процессов в вакууме можете, отправив заявку на электронную почту, сделав заказ по телефону, либо оформив покупку через корзину на нашем сайте.