Автоэмиссионный сканирующий (растровый) электронный микроскоп JEOL JSM-7500F

JEOL JSM-7500F - автоэмиссионный сканирующий (растровый) электронный микроскоп (РЭМ) сверхвысокого разрешение производства компании JEOL (Япония)

JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.

JSM-7500F – автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп ультравысокого разрешения. Данный прибор уникален тем, что даже при низком ускоряющем напряжении он обеспечивает сверхвысокое разрешение (1,4нм при 1кВ). Это делает JSM-7500F прекрасным инструментом для анализа текстуры наноструктурных объектов, особенно тех, которые чувствительны к воздействию электронных пучков.

Низкая чувствительность к вибрациям пола и акустическим шумам существенно снижают требования по подготовке помещения для установки JSM-7500F. Полностью обновленный интерфейс позволит даже начинающим операторам автоэмиссионных растровых микроскопов чувствовать себя уверенно рядом с данным прибором и получать хорошие результаты.

Особенности прибора:
Режим регистрации электронов, отраженных под малыми углами (LABE, запатентован JEOL):
снимает эффект зарядки образца;
позволяет регистрировать отраженные электроны малых энергий;
дает более полную информацию о мелких деталях поверхности и композиционном контрасте.
Одновременное наблюдение 4 разных сигналов с 16-битным динамическим диапазоном.
r-фильтр позволяет проводить фильтрацию по энергиям вторичных и отраженных электронов.
Система “Gentle Beam” позволяет уменьшить заряд на непроводящих образцах и изучать их с высоким разрешением при низких ускоряющих напряжениях.
Автоматическая замена образцов (опция).
Выдвижной детектор отраженных электронов.
5-тиосевой моторизованный столик образцов с автоматической защитой.

Основные технические характеристики:

Пространственное разрешение	1,0 нм при 15 кВ;  1,4 нм при 1 кВ;0,6 нм при 30 кВ (достижимо)
Электронная пушка	с холодным катодом на полевой эмиссии
Ускоряющее напряжение	от 0,1кВ до 30 кВ
Диапазон токов пучка	от 10-12 до 2*10-9 A
Диапазон увеличений	от х25 до х1 000 000 (в пересчете на фотопластину 9 см*12 см)
Столик образцов	Большой, эвцентрического типаДиапазон перемещений: Тип 1: Х:70мм, Y:50мм, Z: 37,5мм. Наклон  от -5 до +70 градусов. Вращение 360 градусов. Тип 2: Х:110мм, Y:80мм, Z: 23,5мм. Наклон  от -5 до +70 градусов. Вращение 360 градусов. Тип 3: Х:140мм, Y:80мм, Z: 23,5мм. Наклон  от -5 до +70 градусов. Вращение 360 градусов.
Максимальный размер образца	диаметром до 200 мм, высотой до 10 мм
Операционная система	MS Windows XP

Автоэмиссионный сканирующий (растровый) электронный микроскоп JEOL JSM-7500F