Моб. +375 25 771 64 26 (Life)
Моб. +375 29 544 55 06 (МТС)

Email: saltakominsk@gmail.com

Вход Регистрация

Новости

Все новости

1 ноября 2022

Новый источник питания FSP мощностью 2400 Вт для устранения узких мест в высокоэнергетических вычислениях

14 октября 2022

Новые осциллографы Infiniium серии UXR обеспечивают лучшую в отрасли целостность сигнала

14 октября 2022

LeCroy представляет самый мощный в мире осциллограф реального времени!

Статьи

Все статьи

САЛТАКО официальный поставщик ТЕРМОПРО

САЛТАКО официальный поставщик TELTONIKA

САЛТАКО официальный поставщик оборудования JUKI

Компактная установка AS-Premium для быстрых термических процессов (RTP)

Компактная система AS-Premium производства ANNEALSYS (Франция) для быстрых термических процессов (RTP) для обработки пластин размером до 8х8 дюймов (200 х 200 мм) с холодными стенками.

Подробнее

ЗАКАЗАТЬ

Под заказ

Наши менеджеры обязательно свяжутся с вами и уточнят условия заказа

Описание

Описание

Применение:
Послеимплантационный отжиг
Отжиг контактов A3B5 и SiC
Быстрый термический отжиг (RTA - Rapid Thermal Annealing)
Быстрое термическое окисление (RTO - Rapid Thermal Oxidation)
Быстрое термическая нитритизация (RTТ - Rapid Thermal Nitridation)
Отжиг SiC контактов, карбонизация
Отжиг соединений полупроводников
Селенизация (CIGS solar cell)
Дифузия, Кристализация
Контроль качества имплантации
Рост углеродных нанотрубок и др.

Особенности

Быстрая термическая обработка пластин до 200х200 мм
Малая занимаемая площадь в чистой комнате
Система быстрых термических процессов AS-Premium имеет высокую функциональность для широкого диапазона процессов от отжига до быстрого термического осаждения из газовой фазы (RTCVD)
Версия установки для высокой температуры может проводить процесс отжига при 1300 °C и позволяет разрабатывать новые процессы.
Технология холодных стенок из нержавеющей стали дающая высокую воспроизводимость процесса с ультра чистой средой и отсутствием загрязнений
Загрузочный шлюз и кластерная конфигурация системы доступны по запросу для увеличения чистоты процесса
Расширенный температурный диапазон, вакуум (от атмосферы до 10-6 Торр) и возможность смешивания газов делает установку AS-Premium подходящей для большого числа RTP процессов
Доступны конфигурации как только с верхним расположением ламп так и конфигурация для вдухсторонненог нагрева с верхним и нижним расположением ламп
Пирометр и термопара для контроля температуры вместе с быстрым цифровым контроллером PID температуры обеспечивает высокую точность и стабильность температуры
Ручная загрузка или загрузка из загрузочного шлюза (load-lock)
Высокая надежность и низкая стоимость владения
Высокая воспроизводимость процесса
Ультра чистая среда и отсутствие загрязнений
Высокая скорость охлаждения и низкий эффект памяти
До 8-ми газовых линий

Характеристики

Температурный диапазон	от комнатной (RT) до 1100°C или до 1300°C (в зависимости от версии)
Скорость нагрева	Скорость нагрева до 100°C/сек или до 30-50°C/сек с графитовым держателем
Скрорость охлаждения	50°C/сек в стандартном исполнении и до 100°C/сек со специальным оборудованием (опция)
Газовая система	Возможность смешивать процессные газы, Контроллеры массового расхода газа
Вакуум	от атм. (н.у.) до 10-6 Торр с турбомолекулярным насосом (опция)
Контроль температуры	измерение температуры термопарой и быстрым температурным контроллером PID гарантирует высокий и стабильный температурный контроль по всему диапазону температур
Управление	система имеет управление с ПК с программным обеспечением на базе Windows
Опции	Низкотемпературный или высокотемпературный пиромерт, Загрузочный шлюз (load lock) Загрузка из касеты в кассету (С to C)

Компактная установка AS-Premium для быстрых термических процессов (RTP)

Персональные рекомендации