Ультразвуковое нанесения фоторезиста спреем UEC6000

Продвинутая напольная установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC6000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай). 
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм.
Перемещение по XY: 500 x 500 мм
Размеры установки: 1600 мм x 1000 мм x 1850 мм (ГxШxВ)
Вес: 498 кг.
UEC (Ultrasonic Electronic Coater)

Применение

• Энергетика (energy)
• Микроэлектроника и полупроводники (microelectronic and semiconductor)
• Медицина (medical)
• Наноматериалы (nanomaterial)

Особенности

• Размер подложек от 5х5 мм до 500х500 мм.
• Программатор - дисплей (touch screen) и PLC для программировования и создания рецептов (до 1000 шт.)
• Автоматическое дозирование фоторезиста (50 ml шприцевое дозирование)
• Эргономичный дизайн и малая занимаемая площадь
• Сопла для ультразвуковой подачи фоторезиста (ширина нанесения 10-80 мм)
• Ультразвуковой генератор 120 кГц
• Вакуумный прижим
• Нагревательная плита (контактный нагрев) до 150 оС из алюминия (без вакуума)
• Нагревательная плита (контактный нагрев) до 100 оС из алюминия (с вакуумом)
• Контроль температуры нагрева ±1℃
• Однородност нагрева ±2℃
• Лазерное позиционирование
• WiFI модуль
• Сигнальная башня
• Touch ручка
• Легкая и простая установка
• Электропитание: 220-240В, 50/60 Гц

Характеристики