Установка плазменной очистки COVANCE от Femto Science (Корея)

Установка плазменной очистки низкого давления модели COVANCE производства FEMTO SCIENCE (Ю. Корея). 

Применение: Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)

Process Mode: PE
Камера: прямоугольная (алюминий), ШхГхВ: 200 x 220 x 160 (мм)
Вакуумный насос, ~ 5 x 10-4 Torr 
Ганератор:

• 20-100 кГц (шаг 10 кГц), мощность до 200 Вт. 
• 13.56 МГц, до 300 Вт 

Управление: ручное или автоматическое (PLC)
Газовые линии - до 4 шт (MFC)

Применение: 
мелкосерийное производство
аналитика (SEM, TEM)
медицина
стерилизация
исследования
археология
обработка текстиля
полупроводники
обработка пластиков

Особенности

• Камера: прямоугольная (алюминий), ШхГхВ: 200 x 220 x 160 (мм)

• Вакуумный насос

• Датчик давления Pirani

• Ганератор: 20-100 кГц (шаг 10 кГц), мощность до 200 Вт. / 13.56 МГц, до 300 Вт 

• Управление: ручное или автоматическое (PLC)

• Газовые линии - до 4 шт. (MFC)

Характеристики