Напольные установки плазменной очистки и травления COWIN от Femto Science (Корея)

Напольные установки плазменной очистки низкого давления модели COWIN производства FEMTO SCIENCE (Ю. Корея) с индивидуальной компановкой и различными размерми камеры.

Применение: Исследовательские работы и промышленное производство, очистка, активация, травление (мелкосерийные и круаносерийные процессы)

Process Mode: PE (Plasma Etching) / RIE (Reactive Ion Etching) / dual RIE/PE Mode with dual electrode
Камера: прямоугольная (алюминий), ШхГхВ: 330 x 350 x 340 (мм) или БОЛЕЕ по запросу заказчика
Вакуумный насос, ~ 5 x 10-4 Torr 
Ганератор: 20-100 кГц (шаг 10 кГц), мощность до 1000 Вт. или 13,56 МГц, 300 Вт. или 600Вт.
Управление: ручное или автоматическое (PLC)
Газовые линии - до 4 шт (MFC)

Применение: 
Микроэлектроника
Нанотехнологии и 2D материаллы
мелкосерийное производство
серийное производство
медицина
стерилизация
исследования
археология
обработка текстиля
полупроводники
обработка пластиков

Особенности

• Камера: прямоугольная (алюминий), 330 x 350 x 340 (мм) или БОЛЕЕ по запросу заказчика

• Вакуумный насос

• Датчик давления Pirani

• Ганератор: 20-100 кГц (шаг 10 кГц), мощность до 1000 Вт. или 13,56 МГц, 300 Вт. или 600Вт.

• Управление: ручное или автоматическое (PLC)

• Газовые линии - до 4 шт. (MFC)

Характеристики