Моб. +375 25 771 64 26 (Life)
Моб. +375 29 544 55 06 (МТС)

Email: saltakominsk@gmail.com

Вход Регистрация

Новости

Все новости

1 ноября 2022

Новый источник питания FSP мощностью 2400 Вт для устранения узких мест в высокоэнергетических вычислениях

14 октября 2022

Новые осциллографы Infiniium серии UXR обеспечивают лучшую в отрасли целостность сигнала

14 октября 2022

LeCroy представляет самый мощный в мире осциллограф реального времени!

Статьи

Все статьи

САЛТАКО официальный поставщик ТЕРМОПРО

САЛТАКО официальный поставщик TELTONIKA

САЛТАКО официальный поставщик оборудования JUKI

Установки реактивно-ионного травления VITA 8 / VITA 12 (RIE) от FEMTO SCIENCE

Установки реактивно-ионного травления VITA 8 и VITA 12 (RIE) от FEMTO SCIENCE (Корея) без вакуумного загрузочного шлюза.

Подробнее

ЗАКАЗАТЬ

Под заказ

Наши менеджеры обязательно свяжутся с вами и уточнят условия заказа

Описание

Описание

Установки реактивно-ионного травления VITA 8 и VITA 12 (RIE) от FEMTO SCIENCE (Корея) без вакуумного загрузочного шлюза.

Системы травления RIE модели VITA 8 и VITA 12 производства FEMTO SCIENCE предназначена для использования в НИОКР для реализации процессов сухого плазменного травления. В базовой конфигурации (без вакуумного загрузочного шлюза - фторная химия) системы успешно применяються для широкого спектра процессов, таких как травление диэлектриков (SiO2,Si3N4), полупроводников (Si), полимеров и металлов (Au, Pt, Ti, Ni).

Особенности

Обработка пластин диаметром до 200 мм и 300 мм соответственно
Процесс: RIE
Групповая обработка пластин
Держатели для пластин меньшего размера
Компактный дизайн и малая занимаемая площадь
Химия: фторная
до 4 газовых линий (фторная химия)
Программное обеспечение на базе PLC, 10.2” Touchscreen PC & USB data transfer

Характеристики

Модель установки	VITA 8	VITA 12
Диаметр обрабатываемых пластин	до 200 мм.	до 300 мм или пластины меньшего размера
Реактор	диаметр камеры реактора 9,2", материал камеры алюминий	диаметр камеры реактора 14,4", материал камеры алюминий
Электрод	электрод с водяным охлаждением	электрод с водяным охлаждением
Вакуумная система	< 5×10-3 Torr форвакуумный насос, DN40 антикоррозионное исполнение	< 5×10-3 Torr форвакуумный насос, DN40 антикоррозионное исполнение
Газовые линии	до 4 газовых линий с MFC и фильтрами и отсечными клапанами	до 4 газовых линий с MFC и фильтрами и отсечными клапанами
RF генератор	ВЧ генератор 13,56 МГц, 300Dn или 600 Вт., воздушное охлаждение автоматическое согласование	ВЧ генератор 13,56 МГц, 300Dn или 600 Вт., воздушное охлаждение автоматическое согласование
Контроль	DSP on board signal controller Automatic / Manual operation Interactive integrated software 10.2” Touchscreen PC & USB data transfer Saving and loading of process recipes Real-time process graphs and error monitoring	DSP on board signal controller Automatic / Manual operation Interactive integrated software 10.2” Touchscreen PC & USB data transfer Saving and loading of process recipes Real-time process graphs and error monitoring

Установки реактивно-ионного травления VITA 8 / VITA 12 (RIE) от FEMTO SCIENCE

Персональные рекомендации