.jpg)
Отличительные особенности:
- Малая занимаемая площадь
- Совместима с различными типами материалов
- Стандартный шпиндель до 60 000 об/мин
- Увеличенная производительность Ось X 600 мм/сек, Y 160 мм/сек, Z 80 мм/сек
- 17 дюймовый LCD сенсорный монитор и новый графический интерфейс с максимально упрощенным дизайном ПО и удобством работы, большие кнопки, интерактивность
- Простая и легкая функция проверки ширины реза
- Хранение свыше 10 000 программ резки
- Порт USB в стандартной комплектации
- Оптимизированный вакуумный контроллер. Снижение на 50% потребления сжатого воздуха
Области применения:
Разделение полупроводниковых пластин на кристаллы с помощью режущего диска. Установка позволяет производить резку широкого спектра материалов: кремний арсенид галия, керамика и т.д.Опции:
- Держатели пластин/подложек
- Станция оптической настройки режущего диска
- Станция правки диска
- Детектор поломки диска
- Система замкнутого охлаждения шпинделя
- Система фильтрации воды
- Система контроля температуры воды
- Система подачи присадок в рабочую зону для повышения качества реза
Технические характеристики:
Максимальный размер пластин/подложек Ø150 мм, квадрат 152 ммМаксимальный размер рамки 6 дюймов
Шпиндель:
Вращение 60 000 об/мин
- Максимальный диаметр режущего диска 60 мм
- Выходная мощность 1,8 кВт
Ось X:
- Диапазон резки 160 мм
- Максимальная скорость 600 мм/сек
Ось Y:
- Диапазон резки 162 мм
- Максимальная скорость 160 мм/сек
- Точность 0,005 мм на длине 162 мм
Ось Z:
- Перемещение 35 мм
- Максимальная скорость 80 мм/сек
- Повторяемость 1 мкм
Ось Theta:
Диапазон вращения 320⁰
Требования к подключениям и габаритные размеры:
- Электропитание 3 фазы, 380В, 4 кВт
- Пневмопитание 5-7 бар, расход 180 л/мин
- Вода для резки 3-5 бар, расход 2 л/мин
- Вода для охлаждения 3-5 бар, расход 2 л/мин
- Вытяжка 3 м3/мин
- Габаритные размеры 495х880х1715 мм
- Вес 389 кг