Установка вакуумной герметизации моделей 2Z-HVS-100

Установка вакуумной герметизации с двумя отдельными нагреваемыми зонами для подложек диаметром 100 мм.

Данные установки предназначены для проведения процессов герметизации (оплавления) МЭМС сенсоров в высоком вакууме до 10-6 млбар. Рабочая камера установки разделена на две независимые нагреваемые зоны: для корпуса сенсора и крышки, см. рисунок ниже. Верхняя и нижняя нагревательные плиты имеют независимый нагрев: верхняя плита нагревается до + 200⁰С, нижняя до +450⁰С. Одновременно можно проводить герметизацию до 6 корпусов. Установка имеет одну управляемую ручным электрическим расходомером газовую линию, что обеспечивает проведение процесса в среде газа. Одной из отличительных особенностей данных систем является возможность активации геттера. Установка проста в эксплуатации и имеет надежную конструкцию.

Отличительные особенности:

• Нагрев с верхней и с нижней стороны
• Возможность подключения до 4 линий подачи газа
• Управление и программирование установкой с помощью встроенного PID контроллера
• Оптический контроль процесса
• 6 адаптеров диаметром 16 мм 
• Программируемые профили температуры
• Работа в атмосфере азота, кислорода, форминг газа
• Возможность сохранения до 20 программ 100 шагов каждая

Области применения:

• Герметизация/оплавление МЭМС сенсоров
• Активация геттера 
• Разделение компонентов при термической обработке в 2 рабочих зонах

Опции:

• Дополнительная линия подачи газа с регулятором массового расхода (максимум 3 единицы)
• Турбомолекулярная помпа, 10-6 млбар с вакуумным клапаном и датчиком вакуума
• Замкнутая система охлаждения
• Термопара

Технические характеристики: