Спектроскопические эллипсометры SENresearch 4.0 для исследований и производства

SENresearch 4.0 - серия новейших спектроскопических эллипсометров производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с диапазоном длин волн: DUV-VIS-NIR (ГУФ-ВИД-ИК) специально разработанных для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно-  и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей в УФ и видимого и ИК диапазонах длин волн. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон: от 190 до 3500 нм (в зависимости от модели)
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Толщина пленок: от 1 Å до 200 мкм
Большое количество опций

Линейка моделей серии SENresearch 4.0:
SER 800: спектральный диапазон 240-1000 нм
SER 800 DUV: спектральный диапазон 190-1000 нм
SER 850: спектральный диапазон 240-2500 нм (3500 нм - опция)
SER 850 Z: спектральный диапазон 240-1700 нм (3500 нм - опция)
SER 850 DUV: спектральный диапазон 190-2500 нм (3500 нм - опция)
SER 850 DUV Z: спектральный диапазон 190-1700 нм (3500 нм - опция)

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления как единичных слоев так и многослойных пленок в производстве или лаборатории.
- Исследования
- Нанатехнологии
- Фотовольтаика
- Микроэлекроника
- Органическая электроника
- Покрытия на стекле
- Дисплеи
- Биотехнологии
- Естественные науки

Особенности

• Широкий спектральный диапазон в зависимости от модели (190-3500 нм.)
• Высокая стабильность и точность при измерения
• Отсутствие подвижных оптических деталей (SSA - Step Scan Analyzer - пошаговое сканирование)
• Высокая скорость измерения образцов
• Измерение толщин пленок от 1 Å до 200 мкм. (ультра-тонкие пленки)
• Измерение оптических характеристик пленок
• Высокоточное выравнивание образца по углу наклона и высоте с помощью ACT (автокалиматческий телескоп)
• Измерения на прозрачных и поглощающих подложках
• Измерение при разных углах плечей эллипсометра (скатерометрия)
• Удобное программное обеспечение SpectraRay/4 
• Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.
• Дружественный интерфейс.
• Высокая скорость измерений (менее 10 сек для полного спектра, более 500 длин волн)
• Мощный пакет программного обеспечения  SpectraRay/4 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение Ψ (psi),  Δ (delta) , tan(Ψ), cos(Δ), коэффициентов Фурье (S1, S2), коэффициенты отражения (R, Rp, Rs), коэффициенты отражения (T), оптические сфойства (n, k, ne, no, ke, ko), свойство материалов, интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения.  SpectraRay/4 обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.

Опции:

• ч/б видеокамера и микроскоп для инспекции образца
• Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 150 мм, до 200 мм и до 300 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования). Опция меппинга (моторизованный столик для образцов с компъютерным управлением) и ПО позволяет анализировать однородность распределения толщины пленки на образце. Данные могут быть выведены как 2D- и 3D- изображение распределения толщины с полной статистикой.
• Рефлектометр FTPadv (диамерт пятна 80 мкм)
• Микроспот (фокусировка пятна: 200 или 100 мкм)
• Автоматический моризованный гониометр (пирамидаидальный)
• Столик с автматическим выравниваниванием образца и автофокус (AFT)
• Столики с нагревом
• Жидкостные ячейки
• Анизотропия
• Измерени на просвет
• Измерение 16-тизначной матрицы Мюллера
• Криостат 4 - 700 ºК